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HMDS真空烘箱

来源: 最后更新:2021-09-02 15:31:07 编辑:新铧 浏览:1052次

1、机外壳采用不锈钢SUS304材质制造,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。

2、钢化箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3、微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。

4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。

5、HMDS气体密闭式自动汲取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

6、整个系统采用材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。

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